適用于半導體生產(chǎn)設備的GORE?抗靜電高柔性電纜
經(jīng)驗證,戈爾新一代電纜技術能夠防止靜電積聚,減少顆粒吸附,從而提高半導體和FPD設備的可靠性與產(chǎn)能。我們的抗靜電高柔性電纜開創(chuàng)了業(yè)界先河,適用于易受ESD影響的環(huán)境,無需額外設備或復雜的接地系統(tǒng)。
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產(chǎn)品概覽
減少ESD相關的故障與產(chǎn)品損壞風險
半導體和平板顯示器(FPD)設備的設計和生產(chǎn)技術不斷發(fā)展,促進半導體行業(yè)向更高密度設計發(fā)展。然而,這些設計也使得FPD和集成電路(IC)更容易受到靜電積聚的危害。隨著時間的推移,積聚的靜電電壓會吸附潔凈室移動電纜系統(tǒng)外表面上的顆粒物,進而導致不受控制的粉塵及良率降低。
戈爾?(GORE?)抗靜電高柔性電纜的復合護套材料采用經(jīng)過非碳基耗散處理的膨體聚四氟乙烯(ePTFE),該材料專為靜電放電(ESD)環(huán)境而設計。
我們的兩款電纜均有助于防止摩擦電荷及電壓積聚,能夠更有效地防止ESD事件發(fā)生,通過減少顆粒吸附來防止表面電荷積聚,以及不受控制的粉塵,并消除潛在的放電現(xiàn)象。
我們的無拖鏈電纜由容納獨立線芯的扁平護套和提供自支撐往復運動的加強構件組成。我們的扁平電纜是集成貼覆獨立線芯的構造,實現(xiàn)更輕、柔性更好的電纜解決方案。
戈爾的獨特電纜技術屬業(yè)內(nèi)首創(chuàng),無需任何額外的安裝工作,即可用于易受ESD影響的環(huán)境,亦無需復雜的接地系統(tǒng)或額外設備即可發(fā)揮出色性能。同時,避免使用離子棒,從而可節(jié)省高昂的校準和維護成本。
戈爾抗靜電高柔性電纜可降低ESD相關的故障與產(chǎn)品損壞的風險,從而提升高柔性機械設備的可靠性和產(chǎn)能。此外,這些電纜完全兼容我們的標準無拖鏈和扁平電纜,可輕松進行改裝。
應用
經(jīng)驗證,戈爾抗靜電高柔性電纜可減少ESD相關事件,適用于各種半導體生產(chǎn)設備,包括:
- 電子元器件封裝設備
- 先進鍵合設備
- 貼裝設備
- 后道制造和檢測流程
- 鏡頭制造設備
- ESD敏感的制造設備
- FPD制造設備
想要在易受ESD影響的環(huán)境中使用高柔性設備,且滿足嚴苛的電纜規(guī)格要求?立即聯(lián)系我們,探討我們能夠如何滿足這些要求,以及我們的產(chǎn)品將如何提供幫助。
特性和優(yōu)勢
我們?yōu)楦隊柨轨o電高柔性電纜設計了獨特的特性,使其在需要高潔凈度且易受ESD影響的環(huán)境中更加耐用,包括:
- 非碳基靜電耗散護套材料
- 不會產(chǎn)生脫落顆粒的低摩擦力材料
- 耐極端溫度的材料
- 耐化學腐蝕的材料
我們的電纜久經(jīng)考驗、十分可靠,可為制造商提供諸多優(yōu)勢,從而改進半導體和FPD設備的性能,比如:
- 防止表面電荷積聚,消除不受控制的粉塵
- 降低ESD相關的故障與產(chǎn)品損壞風險
- 可單獨用于易受ESD影響的環(huán)境,開創(chuàng)業(yè)界先河
- 無需復雜的接地系統(tǒng)或額外設備
- 避免使用離子棒,可節(jié)省高昂的校準和維護成本
- 提高可靠性和產(chǎn)能,減少維護次數(shù),降低總擁有成本
- 符合ISO 1級潔凈室環(huán)境認證要求
- 兼容標準無拖鏈和扁平電纜,易于改裝
技術規(guī)格
以下數(shù)值證明了適用于半導體生產(chǎn)設備的戈爾抗靜電高柔性電纜在ESD敏感環(huán)境中的電氣、機械和環(huán)境性能。
電氣/機械/環(huán)境特性 | 數(shù)值 | |
---|---|---|
無拖鏈電纜 | 扁平電纜 | |
最大加速度 g (m/sec2) | 4.0 (40) | 4.0 (40) |
速度 m/sec | 4.0 | 4.0 |
表面電阻(Ohm)(ASTM-D257,45% rH,23°C) | </= 2 x 109 | </= 2 x 109 |
典型電荷衰減a(msec)(DIN-EN 1149-5; 2008-04,45% rH,23°C) | ≤ 4 | ≤ 4 |
電壓積聚a(V)(PLFWI-2730, 彎折1000次時) | << 100 | << 100 |
工作相對濕度 rH % | 45 + 15 | 45 + 15 |
護套材料b | 經(jīng)過非碳基耗散處理的膨體聚四氟乙烯復合材料 | 經(jīng)過非碳基耗散處理的膨體聚四氟乙烯復合材料 |
護套顏色 | 白色 | 白色 |
線芯類型 | 信號、電源、光纖、氣動導管 | 信號、電源、光纖、氣動導管 |
最大自支撐距離c mm (in) | 1500 (60) | 500 (20) |
總寬度d mm (in) | 最寬可達 105 (4.1) | 最寬可達 300 (12) |
最小彎曲半徑d mm (in) | 50 (2) | 50 (2) |
彎折壽命(次數(shù))(彎曲半徑50 mm,加速度高達4G) | > 10 萬次 | > 20 萬次 |
溫度范圍(°C) | -40 to +80 | -40 to +80 |
潔凈度等級e(通過ISO 14644-1認證,彎折100萬次時) | 1 | 1 |
粉塵f %(通過ISO14644-1 / VDI 2083指南) | < 0.1 | < 0.1 |
a. 測試結果在不同條件下可能會略有差異。如需要可提供測試方法詳情。
b. 有關戈爾的專利詳情,請訪問patents.justia.com/patent/9534159.
c. 需要托板。
d. 僅限標準配置。MBR可能因具體配置而異。
e. 基于抗靜電無拖鏈電纜,GKT-FTFH-01-A,序列號14111802。如需要可提供認證報告。
f. 如需了解弗勞恩霍夫研究所的研究詳情,請訪問gore.com/particulation.
如何定制或購買
在需要高潔凈度的環(huán)境中,戈爾抗靜電高柔性電纜有助于減少ESD相關的故障與產(chǎn)品損壞風險。我們?yōu)榘雽w和FPD設備提供帶安裝夾具的標準或定制配置。
按照設計指南中的幾個簡單步驟操作,從常見的行業(yè)元器件中選擇,即可定制符合您具體要求的電纜。提交信息后,戈爾銷售代表將審核您的要求,并與您聯(lián)系,提供相關建議和圖紙。
如果您需要幫助設計滿足特定半導體生產(chǎn)設備需求的抗靜電高柔性電纜,請立即聯(lián)系我們。
相關資料

新一代電纜技術: 防止靜電積聚,避免吸附粉塵,提升可靠性和產(chǎn)能
數(shù)據(jù)表格, 737.51 KB

Tech Note: Understanding Cable Stress and Failure in High Flex Applications
Technical Information

White Paper: Cable Particulation Study for Cleanroom Environments
White Papers, 144.55 KB
僅用于工業(yè)用途
不可用于食品、藥品、化妝品或醫(yī)療設備等的制造、加工或包裝作業(yè)
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