適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的GORE?抗靜電高柔性電纜
經(jīng)驗(yàn)證,戈?duì)栃乱淮娎|技術(shù)能夠防止靜電積聚,減少顆粒吸附,從而提高半導(dǎo)體和FPD設(shè)備的可靠性與產(chǎn)能。我們的抗靜電高柔性電纜開創(chuàng)了業(yè)界先河,適用于易受ESD影響的環(huán)境,無需額外設(shè)備或復(fù)雜的接地系統(tǒng)。
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產(chǎn)品概覽
減少ESD相關(guān)的故障與產(chǎn)品損壞風(fēng)險(xiǎn)
半導(dǎo)體和平板顯示器(FPD)設(shè)備的設(shè)計(jì)和生產(chǎn)技術(shù)不斷發(fā)展,促進(jìn)半導(dǎo)體行業(yè)向更高密度設(shè)計(jì)發(fā)展。然而,這些設(shè)計(jì)也使得FPD和集成電路(IC)更容易受到靜電積聚的危害。隨著時(shí)間的推移,積聚的靜電電壓會(huì)吸附潔凈室移動(dòng)電纜系統(tǒng)外表面上的顆粒物,進(jìn)而導(dǎo)致不受控制的粉塵及良率降低。
戈?duì)?sup>?(GORE?)抗靜電高柔性電纜的復(fù)合護(hù)套材料采用經(jīng)過非碳基耗散處理的膨體聚四氟乙烯(ePTFE),該材料專為靜電放電(ESD)環(huán)境而設(shè)計(jì)。
我們的兩款電纜均有助于防止摩擦電荷及電壓積聚,能夠更有效地防止ESD事件發(fā)生,通過減少顆粒吸附來防止表面電荷積聚,以及不受控制的粉塵,并消除潛在的放電現(xiàn)象。
我們的無拖鏈電纜由容納獨(dú)立線芯的扁平護(hù)套和提供自支撐往復(fù)運(yùn)動(dòng)的加強(qiáng)構(gòu)件組成。我們的扁平電纜是集成貼覆獨(dú)立線芯的構(gòu)造,實(shí)現(xiàn)更輕、柔性更好的電纜解決方案。
戈?duì)柕莫?dú)特電纜技術(shù)屬業(yè)內(nèi)首創(chuàng),無需任何額外的安裝工作,即可用于易受ESD影響的環(huán)境,亦無需復(fù)雜的接地系統(tǒng)或額外設(shè)備即可發(fā)揮出色性能。同時(shí),避免使用離子棒,從而可節(jié)省高昂的校準(zhǔn)和維護(hù)成本。
戈?duì)柨轨o電高柔性電纜可降低ESD相關(guān)的故障與產(chǎn)品損壞的風(fēng)險(xiǎn),從而提升高柔性機(jī)械設(shè)備的可靠性和產(chǎn)能。此外,這些電纜完全兼容我們的標(biāo)準(zhǔn)無拖鏈和扁平電纜,可輕松進(jìn)行改裝。
應(yīng)用
經(jīng)驗(yàn)證,戈?duì)柨轨o電高柔性電纜可減少ESD相關(guān)事件,適用于各種半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備,包括:
- 電子元器件封裝設(shè)備
- 先進(jìn)鍵合設(shè)備
- 貼裝設(shè)備
- 后道制造和檢測流程
- 鏡頭制造設(shè)備
- ESD敏感的制造設(shè)備
- FPD制造設(shè)備
想要在易受ESD影響的環(huán)境中使用高柔性設(shè)備,且滿足嚴(yán)苛的電纜規(guī)格要求?立即聯(lián)系我們,探討我們能夠如何滿足這些要求,以及我們的產(chǎn)品將如何提供幫助。
特性和優(yōu)勢
我們?yōu)楦隊(duì)柨轨o電高柔性電纜設(shè)計(jì)了獨(dú)特的特性,使其在需要高潔凈度且易受ESD影響的環(huán)境中更加耐用,包括:
- 非碳基靜電耗散護(hù)套材料
- 不會(huì)產(chǎn)生脫落顆粒的低摩擦力材料
- 耐極端溫度的材料
- 耐化學(xué)腐蝕的材料
我們的電纜久經(jīng)考驗(yàn)、十分可靠,可為制造商提供諸多優(yōu)勢,從而改進(jìn)半導(dǎo)體和FPD設(shè)備的性能,比如:
- 防止表面電荷積聚,消除不受控制的粉塵
- 降低ESD相關(guān)的故障與產(chǎn)品損壞風(fēng)險(xiǎn)
- 可單獨(dú)用于易受ESD影響的環(huán)境,開創(chuàng)業(yè)界先河
- 無需復(fù)雜的接地系統(tǒng)或額外設(shè)備
- 避免使用離子棒,可節(jié)省高昂的校準(zhǔn)和維護(hù)成本
- 提高可靠性和產(chǎn)能,減少維護(hù)次數(shù),降低總擁有成本
- 符合ISO 1級(jí)潔凈室環(huán)境認(rèn)證要求
- 兼容標(biāo)準(zhǔn)無拖鏈和扁平電纜,易于改裝
技術(shù)規(guī)格
以下數(shù)值證明了適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的戈?duì)柨轨o電高柔性電纜在ESD敏感環(huán)境中的電氣、機(jī)械和環(huán)境性能。
電氣/機(jī)械/環(huán)境特性 | 數(shù)值 | |
---|---|---|
無拖鏈電纜 | 扁平電纜 | |
最大加速度 g (m/sec2) | 4.0 (40) | 4.0 (40) |
速度 m/sec | 4.0 | 4.0 |
表面電阻(Ohm)(ASTM-D257,45% rH,23°C) | </= 2 x 109 | </= 2 x 109 |
典型電荷衰減a(msec)(DIN-EN 1149-5; 2008-04,45% rH,23°C) | ≤ 4 | ≤ 4 |
電壓積聚a(V)(PLFWI-2730, 彎折1000次時(shí)) | << 100 | << 100 |
工作相對濕度 rH % | 45 + 15 | 45 + 15 |
護(hù)套材料b | 經(jīng)過非碳基耗散處理的膨體聚四氟乙烯復(fù)合材料 | 經(jīng)過非碳基耗散處理的膨體聚四氟乙烯復(fù)合材料 |
護(hù)套顏色 | 白色 | 白色 |
線芯類型 | 信號(hào)、電源、光纖、氣動(dòng)導(dǎo)管 | 信號(hào)、電源、光纖、氣動(dòng)導(dǎo)管 |
最大自支撐距離c mm (in) | 1500 (60) | 500 (20) |
總寬度d mm (in) | 最寬可達(dá) 105 (4.1) | 最寬可達(dá) 300 (12) |
最小彎曲半徑d mm (in) | 50 (2) | 50 (2) |
彎折壽命(次數(shù))(彎曲半徑50 mm,加速度高達(dá)4G) | > 10 萬次 | > 20 萬次 |
溫度范圍(°C) | -40 to +80 | -40 to +80 |
潔凈度等級(jí)e(通過ISO 14644-1認(rèn)證,彎折100萬次時(shí)) | 1 | 1 |
粉塵f %(通過ISO14644-1 / VDI 2083指南) | < 0.1 | < 0.1 |
a. 測試結(jié)果在不同條件下可能會(huì)略有差異。如需要可提供測試方法詳情。
b. 有關(guān)戈?duì)柕膶@斍?,請?jiān)L問patents.justia.com/patent/9534159.
c. 需要托板。
d. 僅限標(biāo)準(zhǔn)配置。MBR可能因具體配置而異。
e. 基于抗靜電無拖鏈電纜,GKT-FTFH-01-A,序列號(hào)14111802。如需要可提供認(rèn)證報(bào)告。
f. 如需了解弗勞恩霍夫研究所的研究詳情,請?jiān)L問gore.com/particulation.
如何定制或購買
在需要高潔凈度的環(huán)境中,戈?duì)柨轨o電高柔性電纜有助于減少ESD相關(guān)的故障與產(chǎn)品損壞風(fēng)險(xiǎn)。我們?yōu)榘雽?dǎo)體和FPD設(shè)備提供帶安裝夾具的標(biāo)準(zhǔn)或定制配置。
按照設(shè)計(jì)指南中的幾個(gè)簡單步驟操作,從常見的行業(yè)元器件中選擇,即可定制符合您具體要求的電纜。提交信息后,戈?duì)栦N售代表將審核您的要求,并與您聯(lián)系,提供相關(guān)建議和圖紙。
如果您需要幫助設(shè)計(jì)滿足特定半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備需求的抗靜電高柔性電纜,請立即聯(lián)系我們。
相關(guān)資料

新一代電纜技術(shù): 防止靜電積聚,避免吸附粉塵,提升可靠性和產(chǎn)能
數(shù)據(jù)表格, 737.51 KB

Tech Note: Understanding Cable Stress and Failure in High Flex Applications
Technical Information

White Paper: Cable Particulation Study for Cleanroom Environments
White Papers, 144.55 KB
僅用于工業(yè)用途
不可用于食品、藥品、化妝品或醫(yī)療設(shè)備等的制造、加工或包裝作業(yè)
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電纜及電纜組件